最小缺陷检测能力可达0.5um 适配各种尺寸(2"/6"/8"/12")晶圆检测 脏点、划痕、异色、异物残留、尺寸误差
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Pitch = 500μm/250μm 采用二氧化硅材料 插入损耗小, 带宽大,尺寸小
可同时老化最多达1280 个激光器 温度控制范围从40°C到150°C 支持TO、蝶形、COC及定制封装
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